[发明专利]一种感光性树脂组合物及其用途有效
| 申请号： | 201810209258.0 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108490737B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 韩传龙;李伟杰;李志强;朱薛妍;周光大;林建华 | 申请（专利权）人： | 杭州福斯特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物及其用途，该树脂组合物包括30‑70重量份的粘合剂聚合物、10‑50重量份的光聚合单体、0.5‑10.0重量份光引发剂和0.1‑10.0重量份添加剂，光聚合单体中烯属不饱和双键摩尔量为0.5‑2.0m mol/g树脂组合物，添加剂含有环氧乙烷‑环氧丙烷嵌段共聚物；本发明通过调控环氧乙烷‑环氧丙烷嵌段共聚物的用量以及光聚合单体中烯属不饱和双键摩尔量，使得所制得的树脂组合物用作干膜抗蚀剂时，具有退膜易断裂、退膜碎片大小适中、退膜速度快等特性，同时线路分辨率、附着力和柔韧性优异，因而能够提高退膜效率，进而提高生产效率和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光性 树脂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述该树脂组合物包含：30‑70重量份的粘合剂聚合物、10‑50重量份的光聚合单体、0.5‑10.0重量份的光引发剂和0.1‑10.0重量份的添加剂等。其中，所述光聚合单体中烯属不饱和双键摩尔量为0.5‑2.0m mol/g树脂组合物，添加剂中含有0.1‑10.0重量份的通式(Ⅰ)或者通式(Ⅱ)所示的环氧乙烷‑环氧丙烷嵌段共聚物。![]()
式(Ⅰ)中，x1、y1和z1为各自独立的正整数，且7≤x1+y1+z1≤227。![]()
式(Ⅱ)中，x2、y2和z2为各自独立的正整数，且7≤x2+y2+z2≤227。
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