[发明专利]一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法在审
| 申请号： | 201810201745.2 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108580211A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 宣海;曹喜喜;汪竹;魏益波 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D3/00;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，步骤1、放基片；步骤2、加热旋转载物盘的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘的旋转带动下由加热旋转载物盘的周边开始旋转下沉；步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔中旋转减弱后，在旋涂内腔内环流至上盖的下方后，气流经过导流台阶减弱后在锥形面的引导下吹向上盖顶部的排气孔；步骤4、排气孔排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖的上方再次吹向加加热旋转载物盘的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其能够对匀胶机内气流进行控制以提高成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 匀胶机 加热 载物盘 成膜 气流控制 盘面 旋涂 下沉 排气孔排 旋转带动 环流 盖顶部 内腔中 排气孔 旋转腔 导流 胶液 内腔 上盖 下吹 残留 | ||
【主权项】：
1.一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其特征在于：所述方法包含有以下步骤：步骤1、将基片通过导热硅胶粘附在加热旋转载物盘(105)的盘面上，胶液涂覆在基片表面，随后盖上上盖(101)；上盖(102)盖置于托盘(101)上方的，所述上盖(102)上设置有观察窗(107)，所述托盘(101)和上盖(102)之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘(105)位于加热旋转腔内；所述托盘(101)的底部设置有环形结构的旋涂内腔(104)，且上盖(102)的底部设置有环形结构的导流台阶(106)，且导流台阶(106)插置于旋涂内腔(104)中，所述上盖(102)的内壁为锥形结构，且上盖(102)的顶部盖壁上设置有排气孔(103)；所述托盘(101)在其与上盖(102)的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖(102)在其与托盘(101)的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条(1)，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一(2)，转动轴通过隔热法兰(5)与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰(5)外套装有油封轴套(6)，且油封轴套(6)与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封(4)，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二(3)；步骤2、加热旋转载物盘(105)的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘(105)的旋转带动下由加热旋转载物盘(105)的周边开始旋转下沉；步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔(104)中旋转减弱后，在旋涂内腔(104)内环流至上盖(102)的下方后，气流经过导流台阶(106)减弱后在锥形面的引导下吹向上盖(102)顶部的排气孔(103)；步骤4、排气孔(103)排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖(102)的上方再次吹向加加热旋转载物盘(105)的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。
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