[发明专利]一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法

说明书

本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，步骤1、放基片；步骤2、加热旋转载物盘的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘的旋转带动下由加热旋转载物盘的周边开始旋转下沉；步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔中旋转减弱后，在旋涂内腔内环流至上盖的下方后，气流经过导流台阶减弱后在锥形面的引导下吹向上盖顶部的排气孔；步骤4、排气孔排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖的上方再次吹向加加热旋转载物盘的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其能够对匀胶机内气流进行控制以提高成膜质量。

技术领域

本发明涉及一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法,尤其是涉及一种应用于匀胶机上的结构、其能够将气流扰动降低、从而保证匀胶效果的成膜方法，属于光电技术领域。

背景技术

前，匀胶机在旋涂过程中气流扰动对成膜质量影响较大；甚至有企业研发了如中国专利201510415328.4(2015.7.15)所示的一种“利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法”，可见如何控制气体扰动是成膜质量的关键因素；但是常规的匀胶机的加热旋转腔内的气流杂乱无章，严重影响成膜质量。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其能够对匀胶机内气流进行控制以保证成膜质量。

本发明的目的是这样实现的：

一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，所述方法包含有以下步骤：

步骤1、将基片通过导热硅胶粘附在加热旋转载物盘的盘面上，胶液涂覆在基片表面，随后盖上上盖；上盖盖置于托盘上方的，所述上盖上设置有观察窗，所述托盘和上盖之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘位于加热旋转腔内；所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔，且上盖的底部设置有环形结构的导流台阶，且导流台阶插置于旋涂内腔中，所述上盖的内壁为锥形结构，且上盖的顶部盖壁上设置有排气孔；所述托盘在其与上盖的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖在其与托盘的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一，转动轴通过隔热法兰与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰外套装有油封轴套，且油封轴套与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二；

步骤2、加热旋转载物盘的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘的旋转带动下由加热旋转载物盘的周边开始旋转下沉；

步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔中旋转减弱后，在旋涂内腔内环流至上盖的下方后，气流经过导流台阶减弱后在锥形面的引导下吹向上盖顶部的排气孔；

步骤4、排气孔排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖的上方再次吹向加加热旋转载物盘的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过腔体结构调整，将原有内腔制作成锥形斜面的造型，一可以减少内腔体积，降低成本，二可以减小气流扰动，优化成膜效果；并且通过旋涂内腔和导流台阶的引导维稳后吹向基片上的胶液，辅助旋转的加热旋转载物盘将胶液旋转甩开得更为均匀；并且通过多重气密性设计，有效的防止了外界气流的影响；而且基片采用导热硅胶贴附，有效的防止因真空吸附孔的存在而导致发成冷却，影响基片的加热效果。

附图说明

图1为本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法中采用的匀胶机的结构示意图。。

图2为本发明一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的气流扰动矢量示意简图。

图3为本发明一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的气流扰动矢量示意简图。

其中：