[发明专利]基板检测装置在审
| 申请号： | 201810200724.9 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108375608A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 丁力栋 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板检测装置。基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，检测设备与基板正对，检测设备用于检测基板；探测设备用于探测检测设备与基板的距离，并输出距离值；控制设备根据距离值调节检测设备与基板之间的距离。上述基板检测装置，探测设备能够探测检测设备与基板之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备与基板之间的距离。当探测设备探测到的检测设备与基板之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备与基板之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备与基板之间的碰撞，从而避免检测设备或基板的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 检测设备 基板 基板检测装置 控制设备 探测设备 探测 输出 安全 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，所述检测设备与所述基板正对；所述探测设备探测所述检测设备与所述基板的距离，并输出距离值；所述控制设备根据所述距离值调节所述检测设备与所述基板之间的距离，以使所述距离值大于或等于预设的安全值。
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