[发明专利]基板检测装置

说明书

本发明涉及一种基板检测装置。基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，检测设备与基板正对，检测设备用于检测基板；探测设备用于探测检测设备与基板的距离，并输出距离值；控制设备根据距离值调节检测设备与基板之间的距离。上述基板检测装置，探测设备能够探测检测设备与基板之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备与基板之间的距离。当探测设备探测到的检测设备与基板之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备与基板之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备与基板之间的碰撞，从而避免检测设备或基板的损坏。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种基板检测装置。

背景技术

在显示面板的基板生产过程中，对于完成加工的基板，通常需要检测基板是否存在缺陷，已确定基板是否良好。基板检测装置用于检测基板是否存在缺陷，基板检测装置的检测设备位于基板的上方，并且检测设备相对于基板平移，以全面检测基板。在检测基板时，检测设备与基板的距离很小，约为30～50um，以准确地检测基板。

但是，由于检测设备与基板的距离很小，如果基板检测装置的其它部件出现异常，在检测设备移动的过程中，检测设备容易与基板碰撞，造成检测设备或基板损坏，导致基板生产成本增加。

发明内容

基于此，有必要针对传统的基板检测装置中，检测设备容易与基板碰撞，造成检测设备或基板损伤的问题，提供一种基板检测装置。

一种基板检测装置，用于检测基板是否存在缺陷。所述基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，所述检测设备与所述基板正对，所述检测设备用于检测所述基板。所述探测设备用于探测所述检测设备与所述基板的距离，并输出距离值。所述控制设备根据所述距离值调节所述检测设备与所述基板之间的距离。

上述基板检测装置，探测设备能够探测检测设备与基板之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备与基板之间的距离。当探测设备探测到的检测设备与基板之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备与基板之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备与基板之间的碰撞，从而避免检测设备或基板的损坏。

在其中一个实施例中，所述探测设备包括探头，所述探头与所述检测设备位于所述基板的同侧，所述探头与所述检测设备连接在一起，且所述探头与所述基板正对，所述探头与所述基板之间的距离反映所述检测设备与所述基板之间的距离。

在其中一个实施例中，所述探头包括探测极板，所述探测极板与所述基板平行，且所述探测极板正对所述基板的表面与所述检测设备靠近所述基板的端部的端面共面。

在其中一个实施例中，所述探测极板的材质为金属；所述探测设备还包括参考极板，所述参考极板位于所述基板背离所述检测设备的一侧，所述参考极板的材质为金属，所述探测极板与所述参考极板构成电容传感器的两个极板。

在其中一个实施例中，基板检测装置还包括平移机构，所述平移机构与所述检测设备连接，所述平移机构驱动所述检测设备相对所述基板平移。所述参考极板的面积大于或等于所述基板的面积。

在其中一个实施例中，所述探测极板的数量为多个，每个所述探测极板与所述参考极板同时构成不同电容传感器的两个极板。

在其中一个实施例中，基板检测装置还包括载台，所述载台位于所述基板背离所述检测设备的一侧，所述载台所述载台用于支撑所述基板。

在其中一个实施例中，所述参考极板嵌设于所述载台的内部。

在其中一个实施例中，所述载台作为所述参考极板。

在其中一个实施例中，基板检测装置还包括升降机构，所述升降机构与所述检测设备连接，所述升降机构驱动所述检测设备相对所述基板升降。

附图说明