[发明专利]一种大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置及脱膜-捞膜的方法在审
| 申请号： | 201810183267.7 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108381841A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李娃;尹强;张帅;朱方华;张云望;苏琳;卢春林;徐嘉靖;吴小军;王宇光 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B29C41/42 | 分类号： | B29C41/42;B29C41/34;B29L7/00 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 卞静静 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸超薄薄膜脱膜‑捞膜装置及脱膜‑捞膜的方法，包括：龙门支架，其连接在工作平台基座上；Z轴升降单元，其连接在所述龙门支架顶部；旋转单元，其连接在Z轴升降单元上；夹持器，其通过带关节的万向式支臂与旋转单元的旋转轴连接；X轴移动单元，其位于工作平台基座上；Y轴移动单元，其连接在X轴移动单元的上方且与X轴移动单元相垂直放置；其中，通过控制Z轴升降单元和旋转单元以调整夹持器与脱膜液载置台中液面的距离及夹角，直至满足超薄薄膜脱膜及捞膜所需的距离和角度要求，实现脱膜及捞膜。本发明的大尺寸超薄薄膜脱膜/捞膜装置具有操作简单方便，易于控制，脱膜‑捞膜效率高、整体作业时间短等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 脱膜 超薄薄膜 旋转单元 膜装置 工作平台 龙门支架 垂直放置 角度要求 整体作业 调整夹 夹持器 脱膜液 万向式 旋转轴 载置 支臂 关节 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸超薄薄膜脱膜‑捞膜装置，其特征在于，包括：龙门支架，其连接在工作平台基座上；用于使夹持器沿Z轴竖直移动的Z轴升降单元，其连接在所述龙门支架顶部；旋转单元，其连接在所述Z轴升降单元上；用于夹持涂覆有薄膜的基片及捞膜用捞膜板的夹持器，其通过带关节的万向式支臂与旋转单元的旋转轴连接；用于使脱膜液载置台沿X轴水平移动的X轴移动单元，其位于工作平台基座上；用于使脱膜液载置台沿Y轴水平移动的Y轴移动单元，其连接在所述X轴移动单元的上方且与X轴移动单元相垂直放置；其中，通过控制Z轴升降单元和旋转单元以调整夹持器与脱膜液载置台中液面的距离及夹角，直至满足超薄薄膜脱膜及捞膜所需的距离和角度要求，实现脱膜及捞膜。
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