[发明专利]一种大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置及脱膜-捞膜的方法

说明书

本发明公开了一种大尺寸超薄薄膜脱膜‑捞膜装置及脱膜‑捞膜的方法，包括：龙门支架，其连接在工作平台基座上；Z轴升降单元，其连接在所述龙门支架顶部；旋转单元，其连接在Z轴升降单元上；夹持器，其通过带关节的万向式支臂与旋转单元的旋转轴连接；X轴移动单元，其位于工作平台基座上；Y轴移动单元，其连接在X轴移动单元的上方且与X轴移动单元相垂直放置；其中，通过控制Z轴升降单元和旋转单元以调整夹持器与脱膜液载置台中液面的距离及夹角，直至满足超薄薄膜脱膜及捞膜所需的距离和角度要求，实现脱膜及捞膜。本发明的大尺寸超薄薄膜脱膜/捞膜装置具有操作简单方便，易于控制，脱膜‑捞膜效率高、整体作业时间短等优点。

技术领域

本发明涉及聚合物薄膜脱膜捞摸领域，具体涉及一种适用于大尺寸(厘米级)超薄(纳米级)聚合物薄膜进行脱膜和捞膜的装置，还涉及一种大尺寸超薄薄膜的脱膜和捞膜方法。

背景技术

在激光惯性约束聚变(ICF)间接驱动中，靶丸在柱腔中的定位采用上下两片薄膜夹持的方式。在靶丸内爆过程中，夹持膜和烧蚀层两者所产生压力法线偏离和密度梯度的变化是产生局部扰动的根源，而局部扰动通过流体力学不稳定性的增长被急剧的放大，从而影响最终的内爆性能。随着美国国家点火攻关(NIC)计划的进行，对相关内爆物理过程认识的逐步深入，夹持薄膜已被认为是降低内爆表现的最重要的因素。为降低夹持薄膜对内爆性能的影响，目前美国正在从降低薄膜厚度和采用其它靶丸定位方式这两方面进行深入的研究。

把薄膜从基片上解离下来最常用的方法是漂浮法。早期的操作方法是在盛有水(或有机溶剂)的水槽中将镀有薄膜的基片倾斜，并通过增加倾斜角度，使基片缓慢下降进入溶液中，脱膜剂溶解，薄膜漂浮在水面上；再将捞膜板倾斜，捞取薄膜。这种手工脱膜-捞膜方法可控性差，无法精确控制基片及捞膜板倾斜的角度及其上升下降的速度。对于一些厚度很小的薄膜(如厚度小于100nm)，手工脱膜-捞膜方法无法获取平整度高，完整性强的薄膜。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，包括：

龙门支架，其连接在工作平台基座上；

用于使夹持器沿Z轴竖直移动的Z轴升降单元，其连接在所述龙门支架顶部；

旋转单元，其连接在所述Z轴升降单元上；

用于夹持涂覆有薄膜的基片及捞膜用捞膜板的夹持器，其通过带关节的万向式支臂与旋转单元的旋转轴连接；

用于使脱膜液载置台沿X轴水平移动的X轴移动单元，其位于工作平台基座上；

用于使脱膜液载置台沿Y轴水平移动的Y轴移动单元，其连接在所述X轴移动单元的上方且与X轴移动单元相垂直放置；

其中，通过控制Z轴升降单元和旋转单元以调整夹持器与脱膜液载置台中液面的距离及夹角，直至满足超薄薄膜脱膜及捞膜所需的距离和角度要求，实现脱膜及捞膜。

优选的是，所述Z轴升降单元为伺服电缸或直线电缸。

优选的是，所述旋转单元为旋转电缸。

优选的是，所述夹持器包括：

U型支撑架，其连接在万向式支臂上；所述U型支撑架上设置有凸起部；所述U型支撑架的两个支撑臂上均连接有弹片；

其中，所述弹片与支撑臂的连接方式为：弹片的一端连接在U型支撑架的凸起部上，另一端与U型支撑架的支撑臂相抵触。

优选的是，所述X轴移动单元和Y轴移动单元具有相同的结构，其包括：平移台，其底部两侧连接有滑行通道；所述平移台的底部中间位置设置有螺纹通道；所述螺纹通道位于滑行通道中间且与滑行通道平行；