[发明专利]基板修补装置

摘要

一种基板修补装置，能够省略工作部侧罐的更换作业，且易于进行用于修补用基板的修补处理的处理用气体的供给。工作部(3)具备：小型气体罐(5)，储存处理用气体并向激光CVD处理部(4)供给处理用气体；以及工作部侧接头(6)，能够向小型气体罐(5)导入原料气体，在不干扰工作部(3)的位置设有大容量高压气体罐(7)以及通过供给用管道(8)连接于大容量高压气体罐(7)的供给用罐侧接头(9)，工作部侧接头(6)能够与供给用罐侧接头(9)结合以及解除结合。

主权项

1.一种基板修补装置，具备：主体部；工作部，设置为相对于所述主体部能够移动；以及修补处理部，设置于所述工作部，所述基板修补装置通过所述修补处理部并使用处理用气体对修补用基板的表面的缺陷进行修补，其特征在于，所述工作部具备：工作部侧罐，储存处理用气体并向所述修补处理部供给所述处理用气体；以及工作部侧接头，能够向所述工作部侧罐导入处理用气体，在不干扰所述主体部和所述工作部的位置固定有通过管道与供给用罐连接的供给用罐侧接头，所述工作部侧接头能够与所述供给用罐侧接头结合或解除结合。