[发明专利]多晶硅还原系统及其应用在审
| 申请号： | 201810153634.9 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108314051A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 石何武;黄伟兵;郑红梅;张升学;严大洲 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;F27D17/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了多晶硅还原系统及其应用。其中，该多晶硅还原系统包括：还原炉、第一换热器、汽化器、混合器和第二换热器。通过第一和第二换热器两个换热器及汽化器对还原炉产生的大量高温还原尾气进行能量递级利用，逐步将高温还原尾气的余热转移到多晶硅还原的原料上，满足生产需求，实现了能量的综合合理利用，降低了多晶硅还原系统的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 还原系统 第二换热器 高温还原 还原炉 汽化器 尾气 混合器 第一换热器 生产需求 换热器 还原 应用 余热 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原系统，其特征在于，包括：还原炉，所述还原炉具有预热后的混合气入口和高温还原尾气出口；第一换热器，所述第一换热器具有高温还原尾气入口、混合气入口、第一冷却还原尾气出口和预热后的混合气出口，所述高温还原尾气入口与所述高温还原尾气出口相连，所述预热后的混合气出口与所述预热后的混合气入口相连；汽化器，所述汽化器具有第一冷却还原尾气入口、三氯氢硅入口、第二冷却还原尾气出口和汽化三氯氢硅出口，所述第一冷却还原尾气入口与所述第一冷却还原尾气出口相连；混合器，所述混合器具有汽化三氯氢硅入口、预热后的氢气入口和混合气出口，所述汽化三氯氢硅入口与所述汽化三氯氢硅出口相连，所述混合气出口与所述混合气入口相连；以及第二换热器，所述第二换热器具有第二冷却还原尾气入口、氢气入口、第三冷却还原尾气出口和预热后的氢气出口，所述第二冷却还原尾气入口与所述第二冷却还原尾气出口相连，所述预热后的氢气出口与所述预热后的氢气入口相连。
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