[发明专利]多晶硅还原系统及其应用

权利要求书

1.一种多晶硅还原系统，其特征在于，包括：

还原炉，所述还原炉具有预热后的混合气入口和高温还原尾气出口；

第一换热器，所述第一换热器具有高温还原尾气入口、混合气入口、第一冷却还原尾气出口和预热后的混合气出口，所述高温还原尾气入口与所述高温还原尾气出口相连，所述预热后的混合气出口与所述预热后的混合气入口相连；

汽化器，所述汽化器具有第一冷却还原尾气入口、三氯氢硅入口、第二冷却还原尾气出口和汽化三氯氢硅出口，所述第一冷却还原尾气入口与所述第一冷却还原尾气出口相连；

混合器，所述混合器具有汽化三氯氢硅入口、预热后的氢气入口和混合气出口，所述汽化三氯氢硅入口与所述汽化三氯氢硅出口相连，所述混合气出口与所述混合气入口相连；以及

第二换热器，所述第二换热器具有第二冷却还原尾气入口、氢气入口、第三冷却还原尾气出口和预热后的氢气出口，所述第二冷却还原尾气入口与所述第二冷却还原尾气出口相连，所述预热后的氢气出口与所述预热后的氢气入口相连。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括：

第三换热器，所述第三换热器具有第三冷却还原尾气入口、水入口、第四冷却还原尾气出口和热水出口，所述第三冷却还原尾气入口与所述第二换热器的第三冷却还原尾气出口相连。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一换热器为气气换热器。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第三换热器为汽水换热器。

5.一种利用权利要求1-4任一项所述的多晶硅还原系统回收多晶硅还原尾气余热的方法，其特征在于，包括：

将还原炉的还原尾气输送至第一换热器，将所述还原尾气与混合气进行第一换热处理，以便得到第一冷却还原尾气和预热后的混合气；

所述第一冷却还原尾气输送至汽化器对所述三氯氢硅进行汽化处理，以便得到第二冷却还原尾气和汽化三氯氢硅；以及

所述第二冷却还原尾气输送至第二换热器与氢气进行第二换热处理，以便得到第三冷却还原尾气和预热后的氢气，

其中，所述预热后的氢气和所述汽化三氯氢硅在混合器中混合为所述混合气。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述第三冷却还原尾气与水进行第三换热处理，以便得到预热的水和第四冷却还原尾气。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述还原尾气的温度不低于650摄氏度。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一冷却还原尾气的温度为500-550摄氏度。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二冷却还原尾气的温度为300-350摄氏度。

10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第三冷却还原尾气的温度为120-150摄氏度。