[发明专利]一种红外测温仪的校正装置及校正方法有效
| 申请号： | 201810145650.3 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108132100B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 高召帅;李钊;于跃;姜浩;李福中;沈棽 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/0801 | 分类号： | G01J5/0801;G01J5/53;G01J5/80;G01J5/90 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于红外测温仪温度校正的视镜；还公开了一种红外测温仪的校正装置，包括依次间隔设置的黑体炉、视镜和红外测温装置，所述黑体炉内设有辐射体，所述视镜包括双层视镜玻璃和设在双层视镜玻璃之间的冷却水夹层，所述红外测温装置包括红外测温仪；本发明还公开了红外测温仪的校正方法。通过对红外测温仪的校正，可以实现测量温度和硅棒的实际温度之间误差控制在±3℃以内，实现还原炉内硅棒温度的精准测量，满足区熔硅生产时对硅棒表面温度准确平稳控制的要求；视镜的作用是为了模拟红外测温仪测量还原炉内多晶硅或区熔硅生产温度时的测量条件，使得校正环境和实际测量环境一致，保证红外测量仪测定温度的准确度和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 测温 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于红外测温仪温度校正的视镜，其特征在于，包括双层视镜玻璃(101)和设在双层视镜玻璃(101)之间的冷却水夹层(102)。
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