[发明专利]一种红外测温仪的校正装置及校正方法有效

专利信息
申请号: 201810145650.3 申请日: 2018-02-12
公开(公告)号: CN108132100B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 高召帅;李钊;于跃;姜浩;李福中;沈棽 申请(专利权)人: 江苏鑫华半导体科技股份有限公司
主分类号: G01J5/0801 分类号: G01J5/0801;G01J5/53;G01J5/80;G01J5/90
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 肖阳
地址: 221004 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 红外 测温 校正 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于红外测温仪温度校正的视镜,其特征在于,包括双层视镜玻璃(101)和设在双层视镜玻璃(101)之间的冷却水夹层(102);所述双层视镜玻璃(101)中一层为石英玻璃,另一层为硅硼玻璃;所述冷却水夹层(102)中冷却水的温度为20~30℃;所述冷却水夹层(102)中冷却水的流量为5~10L/min。

2.根据权利要求1所述的视镜,其特征在于,所述视镜玻璃通过法兰连接方式进行固定;所述视镜还包括冷却水进口(103)和冷却水出口(104)。

3.一种红外测温仪的校正装置,其特征在于,包括依次非接触设置的黑体炉(2)、视镜(1)和红外测温装置(3),视镜和红外测温装置间的距离控制在5~10cm,所述黑体炉(2)内设有辐射体(201),所述视镜(1)包括双层视镜玻璃(101)和设在双层视镜玻璃(101)之间的冷却水夹层(102),所述视镜(1)的双层视镜玻璃(101)中靠近黑体炉(2)的一层为石英玻璃,靠近红外测温装置(3)的一层为硅硼玻璃,所述冷却水夹层(102)中冷却水的温度为20~30℃,所述冷却水夹层(102)中冷却水的流量为5~10L/min;所述红外测温装置(3)包括红外测温仪(301);所述辐射体(201)发射的红外线透过视镜(1)聚集到红外测温仪(301)上转化为相应的电学信号,所述电学信号经过红外测温仪(301)的放大器和信号处理电路,按照红外测温仪(301)内部的算法和目标发射率校正后转变为黑体炉(2)的温度值。

4.根据权利要求3所述的校正装置,其特征在于,所述黑体炉(2)为腔式黑体炉。

5.根据权利要求3所述的校正装置,其特征在于,所述辐射体(201)的发射率为0.95~1。

6.根据权利要求3所述的校正装置,其特征在于,所述视镜玻璃通过法兰连接方式进行固定;所述视镜还包括冷却水进口(103)和冷却水出口(104)。

7.一种利用权利要求3-6任意一项所述的校正装置校正红外测温仪的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)当红外测温仪(301)的显示温度达到最大值时固定红外测温仪(301)的位置,所述红外测温仪(301)的镜头正对着黑体炉(2)内的辐射体(201);

(2)设定黑体炉(2)的温度为800~1100℃,黑体炉(2)内的辐射体(201)发射的红外线透过视镜(1)聚集到红外测温仪(301)上;

(3)读取红外测温仪(301)不同时刻的显示温度T1、T2……Tn,计算出不同时刻的显示温度算数平均值T;通过调整红外测温仪(301)的电气参数使得不同时刻的显示温度波动控制在2℃之内,通过调整红外测温仪(301)的发射系数使得显示温度与黑体炉(2)的实际温度的温差控制在±1℃;

(4)在800~1100℃范围内多次调整黑体炉(2)的温度,温度间隔为5~20℃,重复步骤(2)~(3),调整红外测温仪(301)的电气参数和发射系数。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤(3)中所述Tn中n为3~5。

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