[发明专利]一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置在审
| 申请号： | 201810141610.1 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110161317A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 邵涛;李杨威;刘俊标;任成燕;孔飞;严萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远;胡玉章 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，该装置包括：二次电子测量模块包括电子枪和收集极，所述电子枪设于所述收集极的正上方，且所述电子枪和所述收集极的中心轴线处于同一直线上；样品台模块，其设有样平台，所述样平台的底面设有沿X、Y、Z轴三个方向的滑动轨道；电晕充电模块包括高压电极和电晕针，所述高压电极与所述电晕针连接；表面电位测量模块，其包括高压接口和静电探头，所述静电探头和所述高压接口连接；真空/高气压系统，其包括外腔体、气体接口、真空接口、气瓶和真空泵，所述气体接口和所述真空接口均设于所述外腔体壁上且与所述外腔体连通，所述气瓶和所述气体接口连接，所述真空泵与所述真空接口连接。 | ||
| 搜索关键词： | 气体接口 真空接口 电子枪 收集极 固体绝缘材料 表面介电 测量装置 高压电极 高压接口 特性综合 静电 电晕针 外腔体 真空泵 探头 气瓶 表面电位测量 样品台模块 测量模块 电晕充电 二次电子 滑动轨道 同一直线 外腔体壁 中心轴线 高气压 底面 连通 | ||
【主权项】：
1.一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，包括：二次电子测量模块(1)，其包括电子枪(5)和收集极(7)，所述电子枪(5)设于所述收集极(7)的正上方，且所述电子枪(5)和所述收集极(7)的中心轴线处于同一直线上；样品台模块(2)，其设有样平台(9)，所述样平台(9)的底面设有沿X、Y、Z轴三个方向的滑动轨道；电晕充电模块(3)，其包括高压电极(10)和电晕针(12)，所述高压电极(10)与所述电晕针(12)连接；表面电位测量模块(4)，其包括高压接口和静电探头(11)，所述静电探头(11)和所述高压接口连接；真空/高气压系统，其包括外腔体(6)、气体接口(13)、真空接口(14)、气瓶(15)和真空泵(16)，所述气体接口(13)和所述真空接口(14)均设于所述外腔体(6)壁上且与所述外腔体(6)连通，所述气瓶(15)和所述气体接口(13)连接，所述真空泵(16)与所述真空接口(14)连接。
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