[发明专利]一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置

权利要求书

1.一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，包括：

二次电子测量模块(1)，其包括电子枪(5)和收集极(7)，所述电子枪(5)设于所述收集极(7)的正上方，且所述电子枪(5)和所述收集极(7)的中心轴线处于同一直线上；

样品台模块(2)，其设有样平台(9)，所述样平台(9)的底面设有沿X、Y、Z轴三个方向的滑动轨道；

电晕充电模块(3)，其包括高压电极(10)和电晕针(12)，所述高压电极(10)与所述电晕针(12)连接；

表面电位测量模块(4)，其包括高压接口和静电探头(11)，所述静电探头(11)和所述高压接口连接；

真空/高气压系统，其包括外腔体(6)、气体接口(13)、真空接口(14)、气瓶(15)和真空泵(16)，所述气体接口(13)和所述真空接口(14)均设于所述外腔体(6)壁上且与所述外腔体(6)连通，所述气瓶(15)和所述气体接口(13)连接，所述真空泵(16)与所述真空接口(14)连接。

2.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述样品台模块(2)、收集极(7)、所述静电探头(11)和所述电晕针(12)均位于所述外腔体(6)内部，且所述样品台模块(2)处于所述收集极(7)、所述静电探头(11)和所述电晕针(12)的下方。

3.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述样品台模块(2)设有温控系统。

4.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述收集极(7)的中心位置设有通孔，且所述通孔的孔径大小可调。

5.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述静电探头(11)和所述电晕针(12)下方均设有支撑架，所述静电探头(11)和所述电晕针(12)均与其对应的支撑架滑动连接。

6.根据权利要求3所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述温控系统的温度调节范围为﹣150℃～150℃。

7.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述电子枪(5)的输出电子能量为50eV～30k eV。

8.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述外腔体(6)内设有测压和真空度装置。

9.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述高压电极(10)和所述高压接口周围均设有绝缘保护系统。

10.根据权利要求1所述的固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，其特征在于，所述样平台(9)底部沿X、Y、Z轴方向的滑动轨道长度分别等于所述外腔体(6)沿X、Y、Z轴方向的长度。