[发明专利]一种激光振镜重复定位精度的测量方法

摘要

本发明公开了一种激光振镜重复定位精度的测量方法，涉及激光测量领域，包括步骤：单正弦线激光发生器向激光振镜投射正弦分布的线激光；激光振镜将线激光反射到参考平面上，计算机控制振镜从最小角度到最大角度扫描一次，扫描间隔根据6步相移法计算出的步距来决定，相机采用慢曝光模式，振镜完成一次完整的扫描后相机也完成一幅图像的获取，通过计算机控制振镜，使扫描的起始位置相位依次增加60°，扫描6次，获取到6幅条纹图像，根据每幅图像中某像素点的光强分布则可以计算出该点的包裹相位，对包裹相位进行展开即得到该像素点的展开相位，重复测量若干次得到多幅该像素点的展开相位图，对其进行统计方差计算，即得到振镜的重复定位精度。

主权项

1.一种激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于，包括步骤：提供一种激光振镜重复定位精度的测量装置，所述装置包括一单正弦线激光发生器、一激光振镜、一参考平面、一照相设备和一计算机；所述单正弦线激光发生器向所述激光振镜投射正弦分布的线激光；所述计算机控制所述激光振镜从最小角度到最大角度扫描，期间所述计算机根据N步相移法计算出来的所述激光振镜扫描间隔来控制所述线激光发生器间隔发光；所述激光振镜将线激光反射到所述参考平面上；所述照相设备在慢曝光模式下，当所述激光振镜完成一次从最小角度到最大角度的完整扫描后，获取一幅条纹图像；所述计算机控制所述激光振镜，使所述激光振镜扫描的起始位置相位依次增加相应角度，扫描相应次数，所述照相设备可以获取到相应数量的条纹图像，所述计算机根据每幅图像中某像素点的光强即可计算出该像素点的包裹相位，将包裹相位展开即得到该像素点的展开相位，从而完成一次测量；重复测量若干次，得到该像素点的若干展开相位，所述计算机对所有展开相位进行统计方差计算，得到所述激光振镜的重复定位精度。