[发明专利]一种激光振镜重复定位精度的测量方法

权利要求书

1.一种激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于，包括步骤：

提供一种激光振镜重复定位精度的测量装置，所述装置包括一单正弦线激光发生器、一激光振镜、一参考平面、一照相设备和一计算机；

所述单正弦线激光发生器向所述激光振镜投射正弦分布的线激光；

所述计算机控制所述激光振镜从最小角度到最大角度扫描，期间所述计算机根据六步相移法计算出来的所述激光振镜扫描间隔来控制所述线激光发生器间隔发光；

所述激光振镜将线激光反射到所述参考平面上；

所述照相设备在慢曝光模式下，当所述激光振镜完成一次从最小角度到最大角度的完整扫描后，获取一幅条纹图像；

所述计算机控制所述激光振镜，采用六步相移法，使所述激光振镜扫描的起始位置相位依次增加60°，扫描6次，所述照相设备可以获取到6幅条纹图像，所述计算机根据每幅图像中某像素点的光强即可计算出该像素点的包裹相位，将包裹相位展开即得到该像素点的展开相位，从而完成一次测量；

重复测量若干次，得到该像素点的若干展开相位，所述计算机对所有展开相位进行统计方差计算，得到所述激光振镜的重复定位精度。

2.如权利要求1所述的激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于：所述单正弦线激光发生器、激光振镜、参考平面和照相设备均位于一密闭的空间内。

3.如权利要求1所述的激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于：所述参考平面距离所述激光振镜的距离在10cm～30cm之间。

4.如权利要求3所述的激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于：所述参考平面距离所述激光振镜的距离为20cm。

5.如权利要求1所述的激光振镜重复定位精度的测量方法，其特征在于：所述单正弦线激光发生器包括线激光器和正弦光栅，所述线激光器发射的激光通过所述正弦光栅后投射到所述激光振镜上。