[发明专利]彩色滤光片基板及其制作方法在审
申请号: | 201810118130.3 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN108363233A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 廖作敏;赵莽 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;闻盼盼 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种彩色滤光片基板及其制作方法。本发明的彩色滤光片基板的制作方法通过采用半色调光罩对第一色阻层进行曝光、显影,同时制得彩色光阻层中的第一色阻单元与遮光色阻叠层中的第一遮光色阻层,并且使第一遮光色阻层的厚度小于第一色阻单元的厚度,在所述第一遮光色阻层中凸出于所述第一黑色矩阵与第二黑色矩阵上表面的部分的厚度较小的情况下,涂布于第一遮光色阻层上表面的光阻材料不容易流至其它区域,提升在第一遮光色阻层上形成的第二遮光色阻层的厚度,从而提升所述遮光色阻叠层的遮光效果,有效避免所述第一黑色矩阵与第二黑色矩阵的间隔区域产生漏光,提升液晶显示面板的显示效果与品味。 | ||
搜索关键词: | 遮光 色阻层 黑色矩阵 彩色滤光片基板 色阻单元 上表面 叠层 色阻 制作 液晶显示面板 光阻材料 间隔区域 显示效果 遮光效果 色光 半色调 光罩 漏光 显影 中凸 阻层 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供衬底基板(10),在所述衬底基板(10)上形成第一黑色矩阵(21)以及环绕所述第一黑色矩阵(21)的周边且与所述第一黑色矩阵(21)间隔设置的第二黑色矩阵(22),所述第一黑色矩阵(21)包括框形遮光层(212),所述框形遮光层(212)在所述衬底基板(10)上围出的区域为显示区(101),所述衬底基板(10)位于所述显示区(101)外围的区域为非显示区(102);步骤2、在所述衬底基板(10)上形成彩色光阻层(40),在所述彩色光阻层(40)的制程中同时形成遮光色阻叠层(50),所述遮光色阻叠层(50)位于所述第一黑色矩阵(21)、第二黑色矩阵(22)及衬底基板(10)上且覆盖所述第一黑色矩阵(21)与第二黑色矩阵(22)的间隔区域;所述遮光色阻叠层(50)包括位于所述第一黑色矩阵(21)、第二黑色矩阵(22)及衬底基板(10)上的第一遮光色阻层(51)以及位于所述第一遮光色阻层(51)上的第二遮光色阻层(52),所述第一遮光色阻层(51)与第二遮光色阻层(52)的颜色不同;所述彩色光阻层(40)包括与所述第一遮光色阻层(51)的颜色相同的第一色阻单元(41);所述第一遮光色阻层(51)的厚度小于所述第一色阻单元(41)的厚度。
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