[发明专利]一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201810112768.6 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108374162B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 谷怀民;沈兴纲;石恒志;李继航 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑永泉;邱奕才<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 510630 广东省广州市天河区中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，相比于现有技术，利用了掺杂Ga的溶胶A在热处理的过程中不易与空气中成分发生作用，使得溶胶A能够在衬底上生长透明均匀的薄膜层作为掺铝氧化锌薄膜层的缓冲层，透明度高，而且在掺杂有Ga的薄膜中，晶体的晶格常数更加接近于纤锌矿ZnO的晶格常数，因此能有效减小晶格失配效应，起到很好的晶格缓冲作用，制备光电性能更为优越的掺铝氧化锌透明导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 掺铝氧化锌 透明导电薄膜 制备 晶格常数 薄膜层 掺杂 热处理 光电性能 缓冲作用 晶格失配 缓冲层 晶体的 纤锌矿 衬底 减小 晶格 薄膜 透明度 透明 生长 | ||
【主权项】：
1.一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1、配置溶胶：选定锌源、铝源、镓源、溶剂和稳定剂，将它们混合形成混合溶液A，接着对混合溶液进行陈化后得到溶胶A；选定锌源、铝源、溶剂和稳定剂，将它们混合形成混合溶液B，接着对混合溶液B进行陈化后得到溶胶B；/nS2、匀胶及热处理：/nS2.1、在衬底上先涂覆溶胶A并烘干；/nS2.2、在衬底上涂覆溶胶B并烘干，并重复本步骤一次以上；/nS2.3、返回步骤S2.1直至满足一定的涂覆次数；/nS3、退火：对衬底进行退火处理，制得透明导电薄膜。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
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