[发明专利]一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、配置溶胶：选定锌源、铝源、镓源、溶剂和稳定剂，将它们混合形成混合溶液A，接着对混合溶液进行陈化后得到溶胶A；选定锌源、铝源、溶剂和稳定剂，将它们混合形成混合溶液B，接着对混合溶液B进行陈化后得到溶胶B；

S2、匀胶及热处理：

S2.1、在衬底上先涂覆溶胶A并烘干；

S2.2、在衬底上涂覆溶胶B并烘干，并重复本步骤一次以上；

S2.3、返回步骤S2.1直至满足一定的涂覆次数；

S3、退火：对衬底进行退火处理，制得透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，混合溶液A中Ga和Al共同的摩尔浓度和混合溶液B中Al的摩尔浓度相同。

3.根据权利要求1所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2.2为：在衬底上涂覆溶胶B并烘干，重复执行本步骤1至4次。

4.根据权利要求1所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S2.3为：返回步骤S2.1直至满足涂覆次数为5-12次。

5.根据权利要求1所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，混合溶液A和混合溶液B中Zn²⁺和稳定剂的摩尔比均为1。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S3采用快速退火设备对衬底进行退火。

7.根据权利要求6所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S3采用快速退火设备进行退火的具体步骤为：将衬底放置在快速退火设备中，快速退火设备在真空或N₂气体的环境下将其加热到一定温度再冷却，整个过程用时保持在5-15min以内。

8.根据权利要求7所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，当步骤S3中快速退火设备采用真空环境对衬底进行退火时，真空度为1-100Pa。

9.根据权利要求7所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S3退火过程中的一定温度为450-500℃。

10.根据权利要求1至5任一项所述的一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中采用磁力搅拌的方式混合形成混合溶液A和混合溶液B。