[发明专利]一种大尺寸二氧化硅疏松体的制备装置在审
申请号: | 201810093669.8 | 申请日: | 2018-01-30 |
公开(公告)号: | CN108483872A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 聂兰舰;向在奎;饶传东;张辰阳;王蕾;邵竹锋;王慧;王宏杰;贾亚男;符博 | 申请(专利权)人: | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
主分类号: | C03B19/14 | 分类号: | C03B19/14;C03B20/00;C03B8/04 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100024*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明是关于一种大尺寸二氧化硅疏松体的制备装置,其中,所述的沉积炉内设置有至少一个或多个反应燃烧器排、至少一个烧结燃烧器、沉积基体和移动平台,其中,每个反应燃烧器排包括至少两个反应燃烧器。优选的,所述的反应燃烧器排为一字型。采用本发明提供的制备装置进行二氧化硅疏松体的制备,得到了密度均匀、边缘和面部都不易开裂的大尺寸疏松体。 | ||
搜索关键词: | 疏松体 二氧化硅 燃烧器排 制备装置 燃烧器 密度均匀 移动平台 烧结 沉积炉 一字型 沉积 优选 制备 | ||
【主权项】:
1.一种二氧化硅疏松体的沉积炉,其特征在于:所述的沉积炉内设置有至少一个或多个反应燃烧器排、至少一个烧结燃烧器、沉积基体,其中,每个反应燃烧器排包括至少两个反应燃烧器。
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