[发明专利]形成模板的衬底以及检测方法在审
| 申请号： | 201810092363.0 | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108153111A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 原田大实;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125‑300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 厚度变化 拓扑图案 检测 内衬 | ||
【主权项】：
一种圆形的形成模板的衬底，具有：内部圆形模板作用区域和包围该内部圆形模板作用区域的外部环形区域，所述两个区域与衬底同心；其中所述圆形的形成模板的衬底具有125mm至300mm的直径；其中圆形模板作用区域是能够形成拓扑图案的区域；其中圆形模板作用区域具有至多125mm的直径；其中圆形模板作用区域的厚度变化为至多1μm；其中圆形的形成模板的衬底满足关系：T≥C≥E，其中T为在具有125mm的直径的圆内的最厚的点t处的厚度，C为在其中心c处的厚度，且E为在线t‑c的延伸与该圆交叉的远离t的点e处的厚度，其中点t首先接触接受衬底上的树脂层，点e最后接触接受衬底上的树脂层；其中圆形的形成模板的衬底满足关系0.6μm≥T‑E≥0.3μm；和其中该衬底在整个表面上具有不大于10μm的厚度变化。
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