[发明专利]形状测定装置的控制方法

摘要

提供一种形状测定装置的控制方法，该形状测定装置能够控制五个轴。形状测定装置包括探针头及坐标测量机，该探针头通过第一驱动轴及第二驱动轴的旋转而改变其姿势，该坐标测量机通过三个平移轴(第三驱动轴至第五驱动轴)而使该探针头的位置变化。将第一旋转轴与第二旋转轴的交点设定为旋转中心Q。首先计算出第一驱动轴至第五驱动轴的每个控制周期的插值点，然后根据考虑第一驱动轴及第二驱动轴的插值点(αi、βi)的值的规定变换式将测定端的插值点的坐标值变换为旋转中心Q的坐标值，并将其设定为控制用插值点Qi。第三驱动轴至第五驱动轴的位置被控制到控制用插值点Qi并且第一驱动轴及第二驱动轴的位置被控制到插值点(αi、βi)。

主权项

1.一种形状测定装置的控制方法，该形状测定装置包括：探针头，该探针头包括顶端具有测定端的触针、绕着第一旋转轴旋转的第一驱动轴以及绕着垂直于所述第一旋转轴的第二旋转轴旋转的第二驱动轴，该探针头由所述第一驱动轴及所述第二驱动轴的旋转动作改变所述触针的姿势；以及坐标测量机，该坐标测量机包括作为互相垂直的三个平移轴的第三驱动轴、第四驱动轴以及第五驱动轴，该坐标测量机使所述探针头的位置三维变位，其中，通过所述第三驱动轴至所述第五驱动轴的坐标值(T3、T4、T5)来提供所述测定端的位置，其中，通过所述第一驱动轴的第一旋转角α及所述第二驱动轴的第二旋转角β来提供所述探针头的姿势，该控制方法包括如下步骤：针对所述第一驱动轴至所述第五驱动轴的各驱动轴，在从现在地点Hs(Ts3、Ts4、Ts5、αs、βs)到目标地点He(Te3、Te4、Te5、αe、βe)的移动路径上计算出每个控制周期的插值点；当将所述第一旋转轴与所述第二旋转轴的交点设定为旋转中心Q时，根据考虑所述第一驱动轴及所述第二驱动轴的插值点(αi、βi)的值的规定变换式将所述测定端的插值点的坐标值变换为所述旋转中心Q的坐标值，并将该旋转中心Q的坐标值设定为控制用插值点Qi；以及在每个控制周期，以将所述第三驱动轴至所述第五驱动轴的位置控制到所述控制用插值点Qi的方式控制所述第三驱动轴至所述第五驱动轴的位置并且以将所述第一驱动轴及所述第二驱动轴的位置控制到所述第一驱动轴及所述第二驱动轴的插值点(αi、βi)的方式控制所述第一驱动轴及所述第二驱动轴的位置。