[发明专利]一种发光二极管的外延片的制备方法及外延片有效
| 申请号： | 201810088875.X | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108417671B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘春杨;胡加辉 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/32 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 215600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种发光二极管的外延片的制备方法及外延片，属于发光二极管技术领域。本发明中的制备方法包括：在衬底上生长外延片，在外延片生长完成之后，在N |
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| 搜索关键词： | 一种 发光二极管 外延 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种发光二极管的外延片的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底上生长发光二极管的外延片；在所述发光二极管的外延片生长完成之后，在N2和NH3的混合气体中对所述外延片进行退火处理。
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