[发明专利]一种LED金属电极制作中的电极剥离方法有效
| 申请号： | 201810088185.4 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN110098299B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;闫宝华;刘琦;彭璐;肖成峰;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/36 | 分类号： | H01L33/36 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，包括：(1)制作金属层：在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形，在电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层；(2)剥离电极：将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声，异丙醇溶液的加热温度为60‑70℃，超声时间为3‑10min，超声频率为5‑10KHz；(3)干燥并撕掉表面金属：对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥，并撕掉表面金属；(4)电极去胶：去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶，并进行干燥。本发明既能够将表面金属很容易的剥离下来，又不会过度溶解光刻胶而造成的整个金属膜层错位形成剥离印痕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 金属电极 制作 中的 电极 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，包括：(1)制作金属层：在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形，在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层；(2)剥离电极：将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声，异丙醇溶液的加热温度为60‑70℃，超声时间为3‑10min，超声频率为5‑10KHz；(3)干燥并撕掉表面金属：对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥，并撕掉表面金属；(4)电极去胶：去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶，并进行干燥。
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