[发明专利]一种LED金属电极制作中的电极剥离方法

权利要求书

1.一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，包括：

(1)制作金属层：在生长有外延层的晶片表面制作电极掩膜图形，在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层；

(2)剥离电极：将步骤(1)生成的晶片放置在异丙醇溶液中进行超声，异丙醇溶液的加热温度为60-70℃，超声时间为3-10min，超声频率为5-10KHz；

(3)干燥并撕掉表面金属：对步骤(2)生成的晶片表面进行干燥，并撕掉表面金属；

(4)电极去胶：去除步骤(3)生成的晶片表面残留的光刻胶，并进行干燥。

2.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(2)中，异丙醇溶液的加热温度为65℃，超声时间为5min，超声频率为7KHz。

3.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述异丙醇溶液的相对密度为0.784-0.786，异丙醇溶液中异丙醇质量百分比不低于99.7％。

4.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(1)中，在生长有外延层的晶片表面使用负性光刻胶制作电极掩膜图形，所述负性光刻胶的厚度为20000—40000埃，所述负性光刻胶的倒角为30—75°。

5.根据权利要求4所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述金属膜层的厚度为所述负性光刻胶厚度的1/2—2/3。

6.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(3)、(4)中，使用加热氮气或者旋干机进行干燥。

7.根据权利要求6所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(3)、(4)中，所述加热氮气的温度为40-80℃，施加氮气的时间为2-10min。

8.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(4)中，步骤(3)生成的晶片使用去胶液或者有机溶剂进行加热浸泡，加热温度为60-90℃，去除表面残留光刻胶。

9.根据权利要求1所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(3)中，使用粘性膜撕掉表面金属。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种LED金属电极制作中的电极剥离方法，其特征在于，所述步骤(1)中，使用电子束蒸发台或溅射台在所述电极掩膜图形表面蒸镀金属膜层。