[发明专利]会聚离子束装置在审
| 申请号： | 201810081984.9 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108428609A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 川浪义实 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供会聚离子束装置，其能够高精度地进行发射尖锥的末端的调整而不会使FIB光学系统的会聚特性、对准特性降低。该会聚离子束装置具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源；会聚透镜；第一偏转器；第一光圈；物镜，其使通过所述第一偏转器后的所述离子束会聚；以及试样台，并且在至少具有会聚透镜、第一光圈、第一偏转器以及物镜的光学系统与试样台之间形成针对离子束在点状区域中发生反应的信号产生源，并以使从信号产生源输出的信号和由第一偏转器对离子束进行的扫描对应的方式生成发射尖锥的扫描电场离子显微镜像。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转器 会聚 离子束装置 发射尖锥 离子束 光圈 光学系统 会聚透镜 信号产生 真空容器 试样台 物镜 离子显微镜 点状区域 气体电场 扫描电场 特性降低 离子源 源输出 电离 对准 扫描 尖锐 配置 | ||
【主权项】：
1.一种会聚离子束装置，其具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源，其在所述发射尖锥的末端产生气体离子；会聚透镜，其使从所述气体电场电离离子源释放的离子束会聚；第一偏转器，其使通过所述会聚透镜后的所述离子束偏转；第一光圈，其配置在所述会聚透镜与所述第一偏转器之间，对通过所述会聚透镜后的所述离子束进行限制；物镜，其使通过所述第一偏转器后的所述离子束会聚；以及试样台，其载置测定试样，其特征在于，在至少具有所述会聚透镜、所述第一光圈、所述第一偏转器以及所述物镜的光学系统与所述试样台之间形成针对所述离子束在点状区域中发生反应的信号产生源，以使从所述信号产生源输出的信号和由所述第一偏转器对所述离子束进行的扫描对应的方式生成所述发射尖锥的扫描电场离子显微镜像。
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