[发明专利]用于二硫化钼CVD设备的控制系统在审
| 申请号： | 201810073105.8 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108062069A | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 孙正乾;蒋健伟;谢鹏飞 | 申请（专利权）人： | 无锡盈芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;刘海 |
| 地址： | 214187 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：包括加热系统、真空系统、送样系统、进气系统和远程控制系统；所述加热系统包括工控系统、温度传感器和加热体；所述真空系统包括工控系统、智能工度阀和真空泵；所述送样系统包括工控系统、丝杆、连接在丝杆上的进料装置以及控制丝杆转动以实现进料装置进料和出料的驱动装置；所述进气系统包括工控系统和智能流量计。所述监控系统包括工控系统、数据采集网关、云服务器和终端。本发明解决了CVD设备系统的加热、进料、真空、进气的系统自动化控制，系统实时采集数据的功能，数据调用保存，远程维护操作监控功能，可靠性和稳定性高，抗干扰能力强，实现连续化作业，提高工作效率为目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二硫化钼 cvd 设备 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：包括加热系统、真空系统、送样系统、进气系统和远程控制系统；所述加热系统包括工控系统、温度传感器和加热体，温度传感器采集加热体的温度反馈给工控系统，工控系统控制加热体；所述真空系统包括工控系统、智能工度阀和真空泵，工控系统连接真空泵和智能开度阀，智能开度阀连接真空泵；所述送样系统包括工控系统、丝杆、连接在丝杆上的进料装置以及控制丝杆转动以实现进料装置进料和出料的驱动装置；所述进气系统包括工控系统和智能流量计，工控系统的控制端连接智能流量计，智能流量计的反馈端连接工控系统的输入端，通过工控系统和智能流量计来实现流量控制；所述监控系统包括工控系统、数据采集网关、云服务器和终端，工控系统通过数据采集网关连接终端，终端连接云服务器，云服务器连接工控系统。
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