[发明专利]用于二硫化钼CVD设备的控制系统

权利要求书

1.一种用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：包括加热系统、真空系统、送样系统、进气系统和远程控制系统；

所述加热系统包括工控系统、温度传感器和加热体，温度传感器采集加热体的温度反馈给工控系统，工控系统控制加热体；

所述真空系统包括工控系统、智能工度阀和真空泵，工控系统连接真空泵和智能开度阀，智能开度阀连接真空泵；

所述送样系统包括工控系统、丝杆、连接在丝杆上的进料装置以及控制丝杆转动以实现进料装置进料和出料的驱动装置；

所述进气系统包括工控系统和智能流量计，工控系统的控制端连接智能流量计，智能流量计的反馈端连接工控系统的输入端，通过工控系统和智能流量计来实现流量控制；

所述监控系统包括工控系统、数据采集网关、云服务器和终端，工控系统通过数据采集网关连接终端，终端连接云服务器，云服务器连接工控系统。

2.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述加热系统还包括智能温控系统，工控系统与智能温控系统连接，加热体与智能温控系统连接，温度传感器采集加热体的温度并传输至智能温控系统。

3.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：工控系统包括真空智能模块，真空智能模块用于控制智能开度阀。

4.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述真空系统还包括智能真空传感器，工控系统与智能开度阀、智能真空传感器和真空泵连接，真空泵进行抽真空操作，智能真空传感器进行真空度的测量，工控系统根据真空度控制智能开度阀来实现真空压力控制。

5.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述送样系统包括工控系统、步进电机或调整电机、丝杆和进料装置，工控系统通过速度控制器连接步进电机或调速电机，步进电机或调整电机的输出端连接丝杆，进料装置连接在丝杆上，左限位和右限位由工控系统控制用于限定进料装置的左右移动位置。

6.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述送样系统包括工控系统、丝杆、进料装置和电机，工控系统控制电机，电机的输出端连接丝杆，进料装置螺纹配合在丝杆上，在丝杆的设置有左限位和右限位，左限位和右限位分别由工控系统控制。

7.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述送样系统包括工控系统、气缸、气缸电磁阀、丝杆和进料装置，工控系统连接气缸电磁阀，气缸电磁阀连接气缸，气缸的输出端连接丝杆，丝杆上连接进料装置，进料装置的两侧设有左限位和右限位。

8.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述工控系统包括PLC和触摸屏。

9.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述加热体可以是电阻丝、加热管或者加热板。

10.如权利要求1所述的用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：所述温度传感器为热电偶或热电阻。