[发明专利]一种具有电镀电极的异质结太阳能电池及制备方法在审
申请号: | 201810068901.2 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN108400175A | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 李中天 | 申请(专利权)人: | 苏州太阳井新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/042;H01L31/18 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215127 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法,包括以下步骤:S01,在异质结太阳能电池基底上制备透明导电薄膜层;S02,在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层以及在金属种子层的两侧形成图形化掩膜;S03,在两个图形化掩膜之间开口处电镀金属;S04,去除掩膜。本发明还公开了一种具有电镀电极的异质结太阳能电池,由上述制备方法得到。本发明公开了的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池及其制备方法,在保证电镀金属与TCO层之间高吸附力的前提下,省去种子层蚀刻步骤,不会对TCO层起到蚀刻作用,降低太阳能电池量产的工艺难度,减少废液排放。 | ||
搜索关键词: | 异质结太阳能电池 制备 电镀电极 透明导电薄膜层 蚀刻 金属种子层 图形化掩膜 电镀金属 太阳能电池 废液排放 高吸附力 工艺难度 区域形成 开口处 种子层 基底 量产 去除 掩膜 保证 | ||
【主权项】:
1.一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S01,在异质结太阳能电池基底上制备透明导电薄膜层;S02,在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层以及在金属种子层的两侧形成图形化掩膜;S03,在两个图形化掩膜之间开口处电镀金属;S04,去除掩膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的