[发明专利]一种具有电镀电极的异质结太阳能电池及制备方法在审

专利信息
申请号: 201810068901.2 申请日: 2018-01-24
公开(公告)号: CN108400175A 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 李中天 申请(专利权)人: 苏州太阳井新能源有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215127 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法,包括以下步骤:S01,在异质结太阳能电池基底上制备透明导电薄膜层;S02,在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层以及在金属种子层的两侧形成图形化掩膜;S03,在两个图形化掩膜之间开口处电镀金属;S04,去除掩膜。本发明还公开了一种具有电镀电极的异质结太阳能电池,由上述制备方法得到。本发明公开了的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池及其制备方法,在保证电镀金属与TCO层之间高吸附力的前提下,省去种子层蚀刻步骤,不会对TCO层起到蚀刻作用,降低太阳能电池量产的工艺难度,减少废液排放。
搜索关键词: 异质结太阳能电池 制备 电镀电极 透明导电薄膜层 蚀刻 金属种子层 图形化掩膜 电镀金属 太阳能电池 废液排放 高吸附力 工艺难度 区域形成 开口处 种子层 基底 量产 去除 掩膜 保证
【主权项】:
1.一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S01,在异质结太阳能电池基底上制备透明导电薄膜层;S02,在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层以及在金属种子层的两侧形成图形化掩膜;S03,在两个图形化掩膜之间开口处电镀金属;S04,去除掩膜。
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