[发明专利]一种具有电镀电极的异质结太阳能电池及制备方法

权利要求书

1.一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S01，在异质结太阳能电池基底上制备透明导电薄膜层；S02，在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层以及在金属种子层的两侧形成图形化掩膜；S03，在两个图形化掩膜之间开口处电镀金属；S04，去除掩膜。

2.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S02中，包括以下两种方式：a、先在透明导电薄膜层上部分区域形成金属种子层，再在金属种子层的两侧形成图形化掩膜；b、先在透明导电薄膜层上两侧形成图形化掩膜，再在图形化掩膜之间形成金属种子层。

3.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S01中，异质结太阳能电池基底的前面增加透明导电薄膜层或者异质结太阳能电池基底的前后面均增加透明导电薄膜层。

4.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S02中，图形化掩膜的开口部分全部为金属种子层。

5.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S02中，图形化掩膜的开口部分包括金属种子层和透明导电薄膜层。

6.根据权利要求5所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S03中，在电镀金属之前需要对金属种子层进行表面处理，使金属种子层的导电能力不高于透明导电薄膜层，金属种子层进行表面处理的具体方法包括干法蚀刻、化学腐蚀、阳极氧化和化学氧化。

7.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S02中，金属种子层的材料包括以下金属或化合物的一种或几种：Cu、Ti、W、Cr、Ni、Co、Mo、Sn、Pb、Pd、In、TiB_x、TaN_x、WN_x、TiN_x和TiW；金属种子层采用溅射、蒸镀或者PECVD方法透过图形化掩膜的开口区域进行局部沉积。

8.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S03中，电镀金属的材料包括Ni、Cu、Ag、In、Sn、Al中的一种或几种，或者是几种的组合堆叠形式；电镀金属的方法包括电沉积、光诱导沉积或者化学沉积。

9.根据权利要求1所述的一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法，其特征在于：S04中，去除掩膜的方法包括溶液的溶解、湿法腐蚀、光刻lift off、等离子体蚀刻、加热和激光蚀刻。

10.一种具有电镀电极的异质结太阳能电池，其特征在于：由上述任意所述一种具有电镀电极的异质结太阳能电池制备方法制备得到。