[发明专利]一种新型悬丝式可变刚度微纳测头在审
| 申请号： | 201810065263.9 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN107990818A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘向阳;李保坤;吴耀东;刘坤;于亚运 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种新型悬丝式可变刚度微纳测头包括测头、测杆、中间体、电容上极板、电容下极板、悬丝、柔性机构、压电驱动装置、基座、动平台、电容数字转换装置、PC机。所述测杆安装在中间体中心；所述中间体通过悬丝固定于动平台中心；所述悬丝一端连接中间体，另一端连接柔性机构；所述基座固定于动平台；所述中间体上表面均布四个电容下极板；所述压电驱动装置固定于柔性机构和基座之间。本发明通过压电驱动装置的压电效应，驱动柔性机构发生形变，改变悬丝的张紧程度，进而改变测杆支撑机构的刚度，以满足测量过程变刚度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 悬丝式 可变 刚度 微纳测头 | ||
【主权项】：
一种新型悬丝式可变刚度微纳测头，其特征在于：它包括测头(1)、测杆(2)、中间体(3)、电容下极板(4)、电容上极板(5)、悬丝(6)、柔性机构(7)、压电驱动装置(8)、基座(9)、螺钉孔(10)、动平台(11)、电容数字转换装置(12)、PC机(13)。所述测头(1)和测杆(2)为一体式结构；所述测杆(2)安装在中间体(3)中心；所述中间体(3)通过悬丝(6)固定于动平台(11)中心；所述悬丝(6)一端连接中间体(3)，另一端连接柔性机构(7)；所述基座(9)固定于动平台(11)上；所述压电驱动装置(8)固定于柔性机构(7)和基座(9)之间；所述中间体(3)上表面均布四个电容下极板。
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