[发明专利]一种新型悬丝式可变刚度微纳测头

权利要求书

1.一种新型悬丝式可变刚度微纳测头，其特征在于：它包括测头(1)、测杆(2)、中间体(3)、电容下极板(4)、电容上极板(5)、悬丝(6)、柔性机构(7)、压电驱动装置(8)、基座(9)、螺钉孔(10)、动平台(11)、电容数字转换装置(12)、PC机(13)。所述测头(1)和测杆(2)为一体式结构；所述测杆(2)安装在中间体(3)中心；所述中间体(3)通过悬丝(6)固定于动平台(11)中心；所述悬丝(6)一端连接中间体(3)，另一端连接柔性机构(7)；所述基座(9)固定于动平台(11)上；所述压电驱动装置(8)固定于柔性机构(7)和基座(9)之间；所述中间体(3)上表面均布四个电容下极板。

2.根据权利要求1所述的一种新型悬丝式可变刚度微纳测头，其特征在于：所述每个柔性机构(7)通过两个压电驱动装置(8)驱动，使柔性机构(7)在平行于悬丝方向发生形变，用以改变测头支撑机构的刚度。

3.根据权利要求1所述的一种新型悬丝式可变刚度微纳测头，其特征在于：四个电容下极板均布在中间体上表面，且与中间体(3)凸台机构成45°分布。