[发明专利]一种加热装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201810056859.2 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN107966886B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 毛元杰;卢凯;李京鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 贾莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种加热装置及光刻设备，涉及显示技术领域，用于解决前烘或后烘工艺结束后，玻璃基板与加热盘不容易分离的问题。该加热装置包括加热盘；加热盘包括多个子加热部；相邻的子加热部通过活动连接件相连接，相邻两个子加热部通过活动连接件折叠或展开；加热装置还包括多个定位部，定位部位于相邻两个子加热部相接的位置，定位部用于限定相邻的子加热部之间的夹角。该加热装置用于对衬底基板进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种加热装置，其特征在于，包括加热盘；所述加热盘包括多个子加热部；相邻的所述子加热部通过活动连接件相连接，相邻两个所述子加热部通过所述活动连接件折叠或展开；所述加热装置还包括多个定位部，所述定位部位于相邻两个所述子加热部相接的位置，所述定位部用于限定相邻的所述子加热部之间的夹角。
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