[发明专利]一种镍基上制备亲水性石墨烯薄膜的方法有效
申请号: | 201810044083.2 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN108220912B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 李多生;邹伟;周贤良;叶寅;叶志国;邹爱华;饶有海;彭新元;董应虎;洪跃 | 申请(专利权)人: | 南昌航空大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/02;C01B32/186 |
代理公司: | 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人: | 张文杰 |
地址: | 330063 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明在镍基上制备亲水性石墨烯薄膜的方法包括多晶镍箔表面清洗、表面活化处理、化学气相沉积步骤。其中化学气相沉积是将处理后的多晶镍箔放入真空炉中抽真空后加热并通入氩气;在炉内温度到达800℃时通入氢气,氢气流量控制为100~300sccm;在炉内温度到达950℃时通入碳源气体,碳源气体流量为2~6sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长5~10min后关闭氢气与碳源气体;控制炉内冷却速率为5~15℃/min,待温度降至700℃时二次升温;温度升至980℃开始通入碳源气体,碳源气体流量为1~4sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长10~20min后关闭氢气与碳源气体,控制冷却速率为5~15℃/min,最终得到亲水性石墨烯薄膜。本发明石墨烯薄膜的亲水性能和纯度高,拓展了其应用领域。 | ||
搜索关键词: | 碳源气体 多晶 亲水性石墨 石墨烯薄膜 氢气 镍箔 薄膜 化学气相沉积 碳源气体流量 炉内 镍基 制备 氩气 二次升温 活化处理 控制冷却 镍箔表面 亲水性能 氢气流量 生长 抽真空 控制炉 温度降 真空炉 放入 加热 冷却 清洗 拓展 | ||
【主权项】:
1.一种在镍基上制备亲水性石墨烯薄膜的方法,特征在于,所述的方法步骤如下:步骤1:多晶镍箔表面清洗采用多晶镍箔作为金属基底,用清洗溶液超声清洗多晶镍箔表面10~20min;步骤2:表面活化处理用表面活性剂对多晶镍箔表面活化处理10~20min;步骤3:化学气相沉积将处理后的多晶镍箔放入真空炉中抽真空后加热并通入氩气;在炉内温度到达800℃时通入氢气,氢气流量控制为100~300sccm;在炉内温度到达950℃时通入碳源气体,碳源气体流量为2~6sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长5~10min后关闭氢气与碳源气体;控制炉内冷却速率为5~15℃/min,待温度降至700℃时二次升温;温度升至980℃开始通入碳源气体,碳源气体流量为1~4sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长10~20min后关闭氢气与碳源气体,控制冷却速率为5~15℃/min,最终得到亲水性石墨烯薄膜;所述的清洗溶液为为氨水或盐酸;所述的表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠或十六烷基三甲基溴化铵;所述的碳源气体为甲烷、乙炔、乙烷。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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