[发明专利]一种利用薄膜沉积技术制作超薄线圈的方法及超薄线圈在审
| 申请号： | 201810037723.7 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108303596A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 高伟波;王顺杰 | 申请（专利权）人： | 宁波市计量测试研究院（宁波市衡器管理所;宁波新材料检验检测中心） |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R3/00 |
| 代理公司： | 宁波天一专利代理有限公司 33207 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 315103 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用薄膜沉积技术制作超薄线圈的方法及超薄线圈，属于检测或产生电磁信号的超薄线圈制作技术，其方法涉及了芯轴支架的选取、薄膜的沉积和逐层卷积、微加工减薄处理和去除芯轴支架等步骤，并得到微米量级厚度的超薄线圈，这种制作方法通过薄膜沉积技术和卷绕方式来代替传统的手工绕制漆包线，技术简单、操作方便，能保证线圈尺寸的精确性和一致性，通过径向切割研磨得到厚度可调的超薄线圈，故线径与线圈整体厚度都在微米以上量级，能精确控制线圈粗细，保证线圈以及线距的高度一致性；另外，经该方法制作的超薄线圈呈圆环状，并具有沿圆环状的轴向切割而成的矩形横截面，它与传统漆包线的圆形横截面截然不同，使用性能更加卓越。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜沉积技术 制作 漆包线 芯轴支架 高度一致性 矩形横截面 圆形横截面 呈圆环状 电磁信号 厚度可调 减薄处理 径向切割 卷绕方式 控制线圈 使用性能 微米量级 线圈整体 轴向切割 研磨 传统的 微加工 线圈本 圆环状 卷积 去除 绕制 线径 线距 沉积 薄膜 保证 检测 | ||
【主权项】：
1.一种利用薄膜沉积技术制作超薄线圈的方法，其特征在于包括如下步骤：⑴选择一根圆柱型的芯轴支架（5），该芯轴支架使用便于后期去除的材料制成；⑵选择一根长条带状的绝缘基底（1），利用薄膜沉积技术先在绝缘基底（1）表面沉积单层导电薄膜（2），再将带有单层导电薄膜的绝缘基底（1）在芯轴支架（5）上逐层卷绕，获得由绝缘层隔离的导电薄带卷，或利用薄膜沉积技术在自转的芯轴支架（5）外表面逐层交替沉积绝缘基底（1）和导电薄膜（2）以形成双层薄膜，获得由绝缘层隔离的导电薄带卷；⑶将步骤⑵制作的导电薄带卷通过径向切割、磨抛和离子刻蚀而进行微加工减薄处理，并得到线圈；⑷将经过步骤⑶得到的线圈去除芯轴支架（5），最后得到超薄线圈。
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