[发明专利]有机无机复合自驱动光电探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种有机无机复合自驱动光电探测器，包括硅片、位于硅片上方的氧化钛膜以及位于氧化钛膜上方的有机膜，有机膜的材质为P3HT，硅片包括底面以及垂直于底面的若干硅纳米线。本发明还提供了其制备方法，包括以下步骤：将硅片在含有氢氟酸和银盐催化剂的水溶液中进行刻蚀，然后利用氧化剂去除残留的银盐催化剂，在硅片上形成若干硅纳米线；利用原子沉积法，将处理后的硅片在钛源和氧源中，于80‑100℃下反应，在硅片上方形成二氧化钛层；将带有二氧化钛层的硅片在惰性气体中400‑500℃下煅烧1‑2h，在硅片上方形成氧化钛膜；将聚(3‑己基噻吩‑2,5‑二基)的有机溶液修饰到氧化钛膜的表面，溶剂挥发后得到有机无机复合自驱动光电探测器。

主权项

1.一种有机无机复合自驱动光电探测器，其特征在于：包括硅片、位于所述硅片上方的氧化钛膜以及位于所述氧化钛膜上方的有机膜，所述有机膜的材质为聚(3‑己基噻吩‑2,5‑二基)，所述硅片包括底面以及垂直于所述底面的若干硅纳米线。