[发明专利]有机无机复合自驱动光电探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810035167.X | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108258121B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 田维;李亮;陈亮 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L27/30 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 冯瑞;杨慧林 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 无机 复合 驱动 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种有机无机复合自驱动光电探测器的制备方法，其特征在于，所述有机无机复合自驱动光电探测器包括硅片、位于所述硅片上方的氧化钛膜以及位于所述氧化钛膜上方的有机膜，所述有机膜的材质为聚(3-己基噻吩-2,5-二基)，所述硅片包括底面以及垂直于所述底面的若干硅纳米线，其制备方法包括以下步骤：
(1)将硅片在含有氢氟酸和银盐催化剂的水溶液中进行刻蚀，然后利用氧化剂去除残留的银盐催化剂，在所述硅片上形成若干硅纳米线；
(2)利用原子沉积法，将步骤(1)处理后的硅片在钛源和氧源中，于80-100℃下反应，在硅片上方形成二氧化钛层；
(3)将带有二氧化钛层的硅片在惰性气体中400-500℃下煅烧1-2h，在硅片上方形成致密的氧化钛膜；
(4)将聚(3-己基噻吩-2,5-二基)的有机溶液修饰到所述氧化钛膜的表面，所述有机溶液中聚(3-己基噻吩-2,5-二基)的浓度为5-30mg/mL，溶剂挥发后得到所述有机无机复合自驱动光电探测器。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述氧化钛膜的厚度为2-30nm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述有机膜的厚度为2μm以下。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述氢氟酸的浓度为4.2-5.0mol/L。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述银盐催化剂的浓度为0.01-0.03mol/L，所述银盐催化剂为硝酸银。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述氧化剂的浓度为0.3-0.6mol/L，所述氧化剂为过氧化氢。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(2)中，所述钛源为异丙醇钛或四甲胺钛。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(2)中，所述氧源为去离子水。
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