[发明专利]一种自清洁式硅片翻转机构

摘要

本发明公开了一种自清洁式硅片翻转机构，包括底座、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、过渡板、夹爪气缸、自清洗机构，气缸能推动与滑动板固连的支座前移，当滑动板触发第一接近开关时，经进气管向分流箱内泵入压缩空气，压缩空气经分流孔吹出，两件自清洗机构相互清洗垫板上的灰尘，随后，夹爪气缸带动两自清洗机构合拢，从而将硅片夹紧，随后，气缸复位，当滑动板触发第二接近开关后，伺服电机通过第一齿轮带动转轴转动180°，从而带动夹持有硅片的夹爪气缸翻转180°。该装置结构简单，能对硅片自动翻转，而且翻转时先自动清洗夹持硅片的垫板，防止由于垫板不干净产生的二次污染。

主权项

1.一种自清洁式硅片翻转机构，其特征在于包括底座、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、过渡板、夹爪气缸、自清洗机构，所述的固定座位于底座上端左侧，所述的固定座与底座通过螺栓相连，所述的气缸位于固定座左侧，所述的气缸与固定座通过螺栓相连，所述的滑动板位于底座上端左侧且位于气缸右侧，所述的滑动板与气缸螺纹相连，所述的支座位于滑动板顶部，所述的支座与滑动板通过螺栓相连，所述的伺服电机位于支座上端左侧，所述的伺服电机与支座通过螺栓相连，所述的第一齿轮位于伺服电机右侧，所述的第一齿轮与伺服电机键相连，所述的转轴贯穿支座，所述的转轴与支座转动相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且被转轴贯穿，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的过渡板位于转轴右侧，所述的过渡板与转轴螺纹相连，所述的夹爪气缸位于过渡板外侧，所述的夹爪气缸与过渡板螺纹相连，所述的自清洗机构数量为2件，分别与夹爪气缸的夹爪固连。