[发明专利]一种多边形多晶硅铸锭装置在审
申请号: | 201810020021.8 | 申请日: | 2018-01-09 |
公开(公告)号: | CN110016716A | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 周心怡;詹国彬;黄建明 | 申请(专利权)人: | 上海东洋炭素有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60 |
代理公司: | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人: | 李芙蓉;冯建基 |
地址: | 201611 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种多边形多晶硅铸锭装置。多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。该多边形多晶硅铸锭装置能耗低,产能高。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅铸锭 石墨坩埚 加热器 保温毡 隔热笼 石英坩埚 钢笼 环绕设置 排列设置 周边设置 装置能耗 八边形 产能 套置 垂直 环绕 外围 | ||
【主权项】:
1.一种多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。
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