[发明专利]一种多边形多晶硅铸锭装置在审

专利信息
申请号: 201810020021.8 申请日: 2018-01-09
公开(公告)号: CN110016716A 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 周心怡;詹国彬;黄建明 申请(专利权)人: 上海东洋炭素有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60
代理公司: 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 代理人: 李芙蓉;冯建基
地址: 201611 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种多边形多晶硅铸锭装置。多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。该多边形多晶硅铸锭装置能耗低,产能高。
搜索关键词: 多晶硅铸锭 石墨坩埚 加热器 保温毡 隔热笼 石英坩埚 钢笼 环绕设置 排列设置 周边设置 装置能耗 八边形 产能 套置 垂直 环绕 外围
【主权项】:
1.一种多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。
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