[发明专利]一种多边形多晶硅铸锭装置在审
申请号: | 201810020021.8 | 申请日: | 2018-01-09 |
公开(公告)号: | CN110016716A | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 周心怡;詹国彬;黄建明 | 申请(专利权)人: | 上海东洋炭素有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60 |
代理公司: | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人: | 李芙蓉;冯建基 |
地址: | 201611 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶硅铸锭 石墨坩埚 加热器 保温毡 隔热笼 石英坩埚 钢笼 环绕设置 排列设置 周边设置 装置能耗 八边形 产能 套置 垂直 环绕 外围 | ||
本发明公开了一种多边形多晶硅铸锭装置。多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。该多边形多晶硅铸锭装置能耗低,产能高。
技术领域
本发明涉及太阳能多晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种多边形多晶硅铸锭装置。
背景技术
多晶铸锭是生产多晶硅片的主流方式之一,普遍应用于全球多晶硅片的生产制造。传统的多晶铸锭装置包括石墨坩埚组件、热场加热器、隔热笼保温毡以及升降机构,石墨坩埚组件所围护的石英坩埚用于盛放硅材料,在石墨坩埚组件的四周环绕设置热场加热器,热场加热器用于提供熔融硅材料的热量,隔热笼保温毡设置在热场加热器的四周,以阻隔内部热量散失。隔热笼保温毡设置在钢笼内,钢笼与升降机构连接,并在升降机构的带动下升起或降下,隔热笼保温毡上下移动控制石墨坩埚组件内硅材料的温度,使硅材料由石墨坩埚的底部向上逐渐结晶生长,从而获得具有一定方向和晶格排布的晶体结构。
近年来国内市场对多晶硅片的需求增速迅猛,多晶硅片生产企业的产能压力较大,同时,由于同类竞争产品单晶硅成本的下降,多晶硅片生产企业在扩产的同时需要严格控制成本。因此,各大多晶硅片生产企业迫切需要以最低成本限度,释放出最大产能的生产装置。单炉生产的多晶铸锭从最早的G4逐渐升级到G5和G6,投料量由270kg/炉,扩大到目前1200kg/炉。
然而,目前的石墨坩埚组件为方形结构,受炉型规格以及热场加热器的结构和设置方式的限制,导致许多多晶铸锭装置只能生产G6的多晶硅锭,很大程度上限制了多晶铸锭装置的产能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多边形多晶硅铸锭装置,用以解决现有多晶硅铸锭装置产能低的问题。
为实现上述目的,本发明的技术方案为提供一种多边形多晶硅铸锭装置,所述多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。
优选地,所述钢笼的内侧的宽度为1652mm×1652mm,所述钢笼的内侧的最大对角尺寸为1786mm。
其中,所述加热器包括四个面加热器和四个角加热器,所述四个面加热器两两相对设置,所述角加热器设置在两个相邻所述面加热器之间,并将两个相邻所述面加热器电连接,形成八边形结构的加热器,而且,相对设置的两个所述面加热器之间的内侧距离为1376mm,相对设置的两个所述角加热器之间的内侧距离为1535mm。
优选地,所述石墨坩埚组件包括一个石墨坩埚护板、一个石墨坩埚盖板和一个石墨坩埚底板,所述石墨坩埚护板设置在所述石英坩埚的外围,并在垂直所述石墨坩埚组件的轴线的截面上环绕成八边形形状,所述石墨坩埚盖板设置在所述石墨坩埚护板的顶部,所述石墨坩埚底板设置在所述石墨坩埚护板的底部。
优选地,所述石墨坩埚护板的相对面距离为1300mm,对角距离为1435mm。
优选地,在所述钢笼的顶部和低部设置四角梁式钣金,所述四角梁式钣金通过螺栓和螺母固定于所述钢笼的顶部和低部。
优选地,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括热交换组件,所述热交换组件设置在所述石墨坩埚组件的底部,用于控制所述石墨坩埚组件底部的温度。
优选地,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括底保温毡,所述底保温毡设置在所述热交换组件的下方。
优选地,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括碳碳复合材料板,所述碳碳复合材料板设置在所述底保温毡的上表面;
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