[发明专利]一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法

摘要

本发明公开了一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法。将若干晶片垂直摆放在承载装置上，放置在容器内腐蚀，腐蚀后观察晶片被腐蚀区域的形貌进行极性面判定，最后进行定位边切割，以定位边的切割位置作为判定极性面的标识；定位边切割采用去除尖角的方式，被切割掉的尖角形状为三角形，当被判定晶片形状为中心对称图形，则a边和b边的边长满足a≠b，以不同长度来辅助定义异形晶片的极性面。采用本发明能够在最少程度破坏样品的条件下，安全的判定晶片的极性面并匹配标识，发明的定位边标识方式，制作简便，容易识别，可供使用者直接判断，避免重复腐蚀，提高工作效率、降低操作风险、减少样品破坏面积及频次。

主权项

1.一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法，其特征在于，所述判定方法有如下步骤：一、切割晶体获得初始晶片；二、切割所述初始晶片获取预定形态的异形晶片；三、对所述预定形态的晶片进行极性面判定，判定步骤如下：a、将若干片待腐蚀的晶片垂直摆放在用于极性面判定的承载装置上；b、将承载装置放置在装有腐蚀液的容器内进行腐蚀，腐蚀后将承载装置取出；c、观察晶片被腐蚀区域的形貌，进行极性面判定；四、切割晶片定位边以标记晶片的极性；以晶片定位边的切割位置作为判定极性面的标识。