[发明专利]一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法

权利要求书

1.一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法，其特征在于，所述判定方法有如下步骤：

一、切割晶体获得初始晶片；

二、切割所述初始晶片获取预定形态的异形晶片；

三、对所述预定形态的晶片进行极性面判定，判定步骤如下：

a、将若干片待腐蚀的晶片垂直摆放在用于极性面判定的承载装置上；

b、将承载装置放置在装有腐蚀液的容器内进行腐蚀，腐蚀后将承载装置取出；

c、观察晶片被腐蚀区域的形貌，进行极性面判定；

四、切割晶片定位边以标记晶片的极性；以晶片定位边的切割位置作为判定极性面的标识。

2.根据权利要求1所述的一种用于具有极性的异形晶片的极性面判定方法，其特征在于，所述定位边切割采用去除尖角的方式，被切割掉的尖角形状为三角形，若设切割掉的尖角上的两条边为a边和b边，当被判定晶片形状为中心对称图形，则a边和b边的边长满足a≠b，以a边、b边的不同长度来辅助定义异形晶片的极性面。