[发明专利]一种提高层叠复合磁传感器灵敏度的方法有效
| 申请号： | 201810015128.3 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108267698B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 文玉梅;李平;卞雷祥 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高层叠复合磁传感器灵敏度的方法，在磁性功能层的极化端面区域的上或/和下表面，设置增强层；所述增强层和所述磁性功能层的材料相同，或者所述增强层材料的磁导率高于所述磁性功能层材料的磁导率；所述增强层的磁导率与厚度的乘积大于所述磁性功能层的磁导率与厚度的乘积；由于施加磁场引起所述增强层磁极化，让极化场叠加施加场作用到磁性功能层，增强了功能层内部的有效场，有效提高了传感器的磁场传感灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 层叠 复合 传感器 灵敏度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高层叠复合磁传感器灵敏度的方法，其特征在于：在磁性功能层的极化端面区域的上或/和下表面，设置增强层；所述增强层和所述磁性功能层的材料相同，或者所述增强层材料的磁导率高于所述磁性功能层材料的磁导率；所述增强层的磁导率与厚度的乘积大于所述磁性功能层的磁导率与厚度的乘积；所述增强层和所述磁性功能层之间无气隙或者气隙小于所述增强层和所述磁性功能层任意一层的最小厚度。
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