[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的制备方法有效
| 申请号： | 201810012156.X | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108321261B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 康凯;付星星;陆前军 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括以下步骤：步骤一，对蓝宝石衬底进行清洗；步骤二，在蓝宝石衬底表面形成一层光刻胶掩膜图形；步骤三，将带有光刻胶掩膜图形的蓝宝石衬底放入ICP干法刻蚀设备内进行刻蚀操作，往ICP干法刻蚀设备分别通入由BCl |
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| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括以下步骤：步骤一，对蓝宝石衬底进行清洗；步骤二，在蓝宝石衬底表面形成一层光刻胶掩膜图形；步骤三，将带有光刻胶掩膜图形的蓝宝石衬底放入ICP干法刻蚀设备内进行刻蚀操作，往ICP干法刻蚀设备分别通入BCl3气体和CHF3气体，形成混合气体，该混合气体中CHF3气体流量与BCl3气体流量的比例值范围在0‑40%，同时，在托盘底部通入He气，以在刻蚀过程中对蓝宝石衬底进行冷却，刻蚀操作由主刻蚀阶段和过刻蚀阶段构成，主刻蚀时间大于过刻蚀时间，制备得到图形化蓝宝石衬底。
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