[发明专利]加工装置及移动体的制造方法有效
申请号: | 201780096205.6 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN111263679B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 白石雅之;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡林岭 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL);及第一变更装置(1121、12),变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系;且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。 | ||
搜索关键词: | 加工 装置 移动 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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