[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201780094059.3 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111033676B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 平野辽;野间口恒典;神谷知里;片根纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明通过简单的构造来实现能够抑制来自形成SEM的物镜的磁极片的泄漏磁场的复合带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置一面使电流流过构成物镜的第1线圈一面取得粒子束观察像，在多个电流值下实施通过使电流流过第2线圈来减少该像偏差的动作，基于所述动作间的差分来决定流过所述第2线圈的电流。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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