[发明专利]辐射检测器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201780093161.1 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN110914715B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 曹培炎;刘雨润 申请(专利权)人: 深圳帧观德芯科技有限公司
主分类号: G01T1/24 分类号: G01T1/24
代理公司: 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 代理人: 孙媛
地址: 518000 广东省深圳市南山区招商街道沿山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 辐射检测器被配置成吸收入射在所述辐射检测器的半导体单晶(106)上的辐射粒子,并产生载流子。所述半导体单晶(106)可以是CdZnTe单晶或CdTe单晶。所述制造方法可包括在半导体的基底(102)中形成凹进部(104);在所述凹进部(104)中形成半导体单晶(106);以及在所述基底(102)中形成重掺杂半导体区。所述半导体单晶(106)具有与所述基底(102)不同的组成。所述重掺杂半导体区与所述半导体单晶电(106)接触(119B),并嵌入到基底(102)的本征半导体的一部分中。
搜索关键词: 辐射 检测器 及其 制造 方法
【主权项】:
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