[发明专利]形状测定装置有效
| 申请号： | 201780089979.6 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110546455B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 福永宽;关哲朗;森川哲士;大野佳子;望月敬太 | 申请（专利权）人： | 三菱电机大楼技术服务株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;B66B7/12;G01B11/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 马建军;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供形状测定装置，能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。形状测定装置具有：投光器，其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光；半透半反镜，其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象；递归反射体，其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧，使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射；以及受光器，其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧，在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后，不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种形状测定装置，该形状测定装置具有：/n投光器，其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光；/n半透半反镜，其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象；/n递归反射体，其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧，使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射；以及/n受光器，其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧，在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后，不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。/n
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