[发明专利]形状测定装置

说明书

提供形状测定装置，能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。形状测定装置具有：投光器，其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光；半透半反镜，其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象；递归反射体，其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧，使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射；以及受光器，其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧，在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后，不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

技术领域

本发明涉及形状测定装置。

背景技术

例如，专利文献1公开有形状测定装置。该形状测定装置具有递归反射体。递归反射体使入射光向相反方向反射而不依赖于反射面的角度。因此，不容易受到递归反射体的设置误差的影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2010-518385号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在递归反射体中产生衍射现象。衍射现象引起的衍射光包含向与入射光相反的方向反射的递归反射光以外的不同方向的反射光。因此，在基于递归反射体的反射光强度分布中产生紊乱。其结果是，测定对象的形状测定精度变差。

本发明正是为了解决上述课题而完成的。本发明的目的在于，提供能够去除递归反射体引起的衍射光的影响的形状测定装置。

用于解决课题的手段

本发明的形状测定装置具有：投光器，其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光；半透半反镜，其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象；递归反射体，其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧，使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射；以及受光器，其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧，在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后，不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

本发明的形状测定装置具有：光源，其投出光；半透半反镜，其反射来自所述光源的光的一部分，将该光的一部分引导至所述测定对象；第1透镜，其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜侧，在来自所述投光器的光被所述半透半反镜反射后，将该光成形为平行光；递归反射体，其相对于所述测定对象配置于所述第1透镜的相反侧，使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射；缝隙体，其相对于所述半透半反镜配置于所述第1透镜的相反侧，具有预先设定的宽度的开口部，在来自所述递归反射体的反射光透射过所述第1透镜和所述半透半反镜时，遮挡与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光；第2透镜，其相对于所述缝隙体配置于所述半透半反镜的相反侧，配向于与光向所述递归反射体的入射方向平行的方向，对来自所述缝隙体的光进行成形；以及受光元件，其相对于所述第2透镜配置于所述缝隙体的相反侧，不接受来自所述第2透镜的光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

发明效果

根据这些发明，形状测定装置不接受来自递归反射体的反射光中的与光向递归反射体的入射方向平行的光以外的光，接受与光向递归反射体的入射方向平行的光。因此，能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。

附图说明

图1是应用本发明的实施方式1中的形状测定装置的电梯的要部的结构图。

图2是本发明的实施方式1中的形状测定装置的俯视图。

图3是本发明的实施方式1中的形状测定装置的投光器的要部的立体图。