[发明专利]感光性树脂组合物、使用了其的干式膜、印刷布线板及印刷布线板的制造方法有效
申请号: | 201780089117.3 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN110521290B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 古室伸仁;代岛雄汰;小岛正幸;入泽真治;大崎真也 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | H05K3/28 | 分类号: | H05K3/28;C08G59/17;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/031 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供对于投影式曝光、直描曝光机的任一种均无需进行组成的微调即可应用、且难以发生抗蚀图案底部被挖去的底切及抗蚀图案上部的缺失、能够形成抗蚀图案截面的深度方向上的中间部(中央部)及最深部(底部)的线宽难以大于表面部的线宽(即抗蚀图案轮廓的深度方向上的直线性良好)的优异截面形状的抗蚀图案、进而绝缘可靠性或耐开裂性等可靠性优异的感光性树脂组合物,使用了该感光性树脂组合物的干式膜,印刷布线板及印刷布线板的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有(A)含酸改性乙烯基的环氧树脂、(B)光聚合引发剂、(C)含二苯甲酮化合物的光聚合增感剂、以及(D)光聚合性化合物。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 干式膜 印刷 布线 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有(A)含酸改性乙烯基的环氧树脂、(B)光聚合引发剂、(C)含二苯甲酮化合物的光聚合增感剂、以及(D)光聚合性化合物。/n
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